關於JSR收購Inpria - JSR的半導體事業投資
此次投資Inpria概要
- 追加取得79%的股份使其成為完全子公司
- 該公司的事業價值估算為 514百萬美元
- 2021/9/17契約締結,10月末執行收購
Inpria公司概要
- EUV用光阻開發
- 2019年開始進行量產
- Class100無塵室
- 生產能力年4,000加侖
半導體產業的市場性
- 接下來的十年預估會從4400億日圓兩倍以上成長到1兆日圓
- 光阻劑的複合年均成長率(CAGR)JSR估算從2020到2026年ArF可達9%,EUV光阻更可達到40%
EUV蝕刻的發展路線
- Chemically amplified resist (CAR)
- 2018 - 7nm/1Y - CAR Gen1 - Acid blur control, high resolution
- 2020 - 5nm/1Z - CAR Gen2 - High contrast, high acid yield
- 2022 - 3nm/1A - CAR Gen3 - Electron blur control, high electron yield
- 到2024預估的2nm/1B之後,使用新技術如金屬光阻來配合高NA的儀器有望成為新的趨勢
JSR的半導體材料事業目標與預測
- 營業額:市場成長的兩倍
- 核心營業利益:高利益率維持(≧23%)
- 藉由M&A等手段家大事業規模及商品種類
- 加上這次的投資後預估JSR的光阻事業在FY24能達到50%的複合年均成長率
- Inpria單體在FY21事業規模擴大,FY22達成盈利
- FY25以後,EUV光阻量產擴大、金屬光阻正式投入半導體產線、加速新材料的開發
JSR半導體材料開發的全球體制
- 日本JSR為中心進行光阻設計與先端材料製造
- 美國Inpria進行金屬光阻的開發與製造
- 與IBM合作開發針對先進EUV曝光機的光阻
- 與歐洲IMEC合作進行次世代節點的項目研究,進行開發與測試
- 與歐洲IMEC共同成立的EUV RMQC將會進行EUV光阻的量產與品管、品保
參考資料
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