關於JSR收購Inpria - JSR的半導體事業投資


 

此次投資Inpria概要

  • 追加取得79%的股份使其成為完全子公司
  • 該公司的事業價值估算為 514百萬美元
  • 2021/9/17契約締結，10月末執行收購

Inpria公司概要 

  • EUV用光阻開發
  • 2019年開始進行量產
  • Class100無塵室
  • 生產能力年4,000加侖

半導體產業的市場性

  • 接下來的十年預估會從4400億日圓兩倍以上成長到1兆日圓
  • 光阻劑的複合年均成長率(CAGR)JSR估算從2020到2026年ArF可達9%，EUV光阻更可達到40%

EUV蝕刻的發展路線

  • Chemically amplified resist (CAR)
    • 2018 - 7nm/1Y - CAR Gen1 - Acid blur control, high resolution
    • 2020 - 5nm/1Z - CAR Gen2 - High contrast, high acid yield
    • 2022 - 3nm/1A - CAR Gen3 - Electron blur control, high electron yield
  • 到2024預估的2nm/1B之後，使用新技術如金屬光阻來配合高NA的儀器有望成為新的趨勢

JSR的半導體材料事業目標與預測

  • 營業額：市場成長的兩倍
  • 核心營業利益：高利益率維持(≧23％)
  • 藉由M&A等手段家大事業規模及商品種類 
  • 加上這次的投資後預估JSR的光阻事業在FY24能達到50%的複合年均成長率
  • Inpria單體在FY21事業規模擴大，FY22達成盈利
  • FY25以後，EUV光阻量產擴大、金屬光阻正式投入半導體產線、加速新材料的開發 

JSR半導體材料開發的全球體制

  • 日本JSR為中心進行光阻設計與先端材料製造
  • 美國Inpria進行金屬光阻的開發與製造
  • 與IBM合作開發針對先進EUV曝光機的光阻
  • 與歐洲IMEC合作進行次世代節點的項目研究，進行開發與測試
  • 與歐洲IMEC共同成立的EUV RMQC將會進行EUV光阻的量產與品管、品保

 

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